Versatile-DT300是永利集团推出的一款高效率、高清洁度的全自动双轴晶圆边沿修整装备,,,,用于精准解决晶圆减薄时边沿崩边问题,,,,提高减薄质量。。。。该装备集切割、传输、洗濯、量测等多个单位为一体,,,,设置多轴联动高细亲近割手艺、全自动传输及高清洁度洗濯手艺,,,,并搭载高区分率视觉瞄准及先进的量测系统。。。。Versatile-DT300具备高性能且尺寸紧凑、工艺无邪、多模式组合、多功效设置等优点,,,,极大知足存储芯片、图像传感器、先进封装等多种晶圆制造工艺及产品的各项手艺需求。。。。
高性能且尺寸紧凑
工艺无邪并适配多种产品
高区分率视觉瞄准及当站量测
全自动传输及高清洁度洗濯