HSC-F2400应用于4/6/8英寸化合物半导体质料的终端洗濯。。。。。。。该装备基于永利集团自主知识产权的立异手艺,,,,,,,配备性能优越的单片洗濯机???楹退嫠⑾茨???,,,,,,,集成多种化学药液,,,,,,,并搭载先进的物理洗濯要领,,,,,,,展现出更卓越的清洁效果。。。。。。。该装备知足多种化合物半导体质料的需求,,,,,,,已在化合物半导体领域批量应用。。。。。。。
装备自动兼容4/6/8英寸晶圆的洗濯
知足干进干出和湿进干出两种模式
更好的晶圆夹持方法
具备双面刷洗和双面洗濯功效,,,,,,,更高效、更便捷
设置无邪,,,,,,,更好洗濯效果