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Universal-H300

Universal-H300是永利集团面向行业前沿需求,,,开发的一款集先进抛光工艺、高效率、高稳固性于一体的12英寸CMP装备。。。该装备接纳立异抛光系统架构,,,可实现抛光效率的显著提升,,,配备更先进的洗濯手艺,,,可知足日益提高的清洁度需求。。。该装备可更好实现晶圆纳米级全局平展化,,,知足先进制程手艺需求,,,已在集成电路、先进封装、大硅片等制造工艺中批量应用。。。



立异抛光系统架构实现更高效率、更高产能

越发卓越的洗濯性能

先进控制系统更稳固可靠

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