HCDS系列化学品供应系统,,,,,接纳客制化、???榛杓,,,,,设置无邪,,,,,具有实时、高精度在线配比系统,,,,,可实现参数闭环控制,,,,,知足半导体制造历程中湿法工艺装备的洗濯液等化学品供应需求,,,,,操作维护便捷,,,,,具有高可靠性、清静性和低维护保养本钱,,,,,设置无邪等优点。。。。。
实时、高精度在线配比系统
各项参数闭环控制
高可靠性、清静性和低维护保养本钱
设置无邪