Universal-300 Dual 是基于永利集团自主知识产权立异手艺研发的成熟12英寸CMP装备。。。。。 。该装备配备多组性能优越的抛光单位及洗濯单位，，， ，，，集成多种先进终点检测手艺，，， ，，，优异的工艺可调性和稳固性，，， ，，，可实现晶圆外貌的超高平整度，，， ，，，知足成熟制程手艺需求，，， ，，，已在集成电路、先进封装、大硅片等制造工艺中批量应用。。。。。 。
多分区抛秃顶
优异的工艺可调性和稳固性
可实现产品干进干出
知足成熟制程手艺需求
用于Oxide/SiN/STI/Poly/Cu/W等CMP制程