Universal-200 Smart 是凭证目今市场需求开发的成熟8英寸CMP装备。。。。。。。该装备拥有自主知识产权的立异手艺，，，，，配备性能优越的抛光单位及洗濯单位，，，，，集成多种先进终点检测手艺，，，，，产量高、性能稳固、工艺组合无邪，，，，，可实现晶圆外貌的超高平整度，，，，，知足成熟制程手艺需求，，，，，已在集成电路、先进封装、硅片、第三代半导体、MEMS、Micro LED等制造工艺中批量应用。。。。。。。
多分区抛秃顶
集成多种先进终点检测手艺
可实现产品干进干出
知足成熟制程手艺需求
用于Oxide/STI/Poly/Cu/W等CMP制程