2017年2月17日，，，，， ，国家自然科学基金“纳米制造的基础研究”重大研究妄想指导专家组专家卢秉恒院士、雒建斌院士、顾长志研究员，，，，， ，国家自然科学基金委员会工程科学二处主任赖一楠、刘磊，，，，， ，以及纳米精度制造领域的有关偕行专家莅临永利集团，，，，， ，对以清华大学为依托单位所肩负的集成项目“亚纳米精度外貌制造基础研究”，，，，， ，举行了实地考察与指导交流。 。。。。。。
在清华大学路新春教授向导下，，，，， ，专家组一行先厥后到万级调试车间和千级清洁间，，，，， ，旅行了正在整机调试的Universal-300型化学机械抛光机、正在出机前测试的Universal-300 plus型化学机械抛光机、Universal -150小型抛光机，，，，， ，以及其他自研仪器装备。 。。。。。。
路新春教授向专家组详细先容了装备的原理、事情流程，，，，， ，面临的手艺挑战以及工艺水平与研发销售现状。 。。。。。。专家们在看到整套装备高效稳固自动化运转情形后，，，，， ，得知Universal-300 plus将在几天后发往中芯国际举行图形晶圆的抛光生产，，，，， ，专家组对永利集团所取得的效果给予赞许，，，，， ，并针对装备手艺问题举行交流。 。。。。。。随后，，，，， ，专家组还观摩了由清华大学、大连理工大学和国防科技大学肩负集成项目所加工的亚纳米外貌精度的样品。 。。。。。。
在座谈交流会上，，，，， ，路新春教授向专家组举行了集成项目年度总结汇报，，，，， ，详细先容了清华大学及相助单位在超细密外貌制造基础研究方面取得的研究希望以及所取得的阶段性效果。 。。。。。。
汇报竣事后，，，，， ，专家组对基础研究效果对工业化生长的支持作用举行了深入地讨论，，，，， ，并对以后基础研究的生长提出了指导意见。 。。。。。。
汇报竣事后，，，，， ，专家组对基础研究效果对工业化生长的支持作用举行了深入地讨论，，，，， ，并对以后基础研究的生长提出了指导意见。 。。。。。。