6月26日,,,,,,由SEMI和IEEE-EDS联合举行的中国国际半导体手艺大会(CSTIC)在上海国际聚会中心盛大开启,,,,,,大会现场揭晓了由SEMI设立的最佳年轻工程师论文奖和最佳学生论文奖。。。。
永利集团(简称“永利集团”,,,,,,股票代码:688120)战略生长部司理张力飞荣获SEMI本届大会最佳年轻工程师论文奖一等奖。。。。
本次获奖论文以“Problem Analysis and Optimization Strategy on Chemical Mechanical Polishing Relevant for Cobalt Interconnects”为题,,,,,,提出了用于先进制程互连结构的化学机械抛光液的正向设计和优化要领,,,,,,将进一步推动相关领域手艺研发与立异。。。。

CSTIC是中国规模最大、最周全的年度半导体手艺盛会,,,,,,也是亚洲最大的天下级半导体手艺钻研会。。。。为期两天的CSTIC,,,,,,近百位天下领先的行业及学术专家汇聚一堂,,,,,,内容涵盖IC设计、半导体器件与集成、光刻、蚀刻、CMP、封装测试等各项前沿手艺。。。。
以下为获奖论文信息:
永利集团战略生长部司理张力飞为论文第一作者,,,,,,永利集团副总司理、董事会秘书王同庆为论文第二作者,,,,,,永利集团董事长、首席科学家路新春为论文通讯作者。。。。